常用的微流控芯片制備方法和制程工藝介紹

更新時間：2024-01-15

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　　微流控芯片是一種在微米尺度上控制和操作液體的技術，廣泛應用于生物醫學、化學分析、環境監測等領域。制備的方法和制程工藝是多種多樣的，下面介紹幾種常用的制備方法和制程工藝。

　　1.光刻膠

　　光刻膠是一種光敏材料，用于制造集成電路和微電子器件。在芯片制備中，光刻膠可以被用來制作芯片的微結構。

　　光刻膠被涂敷在硅片或玻璃片上，然后使用紫外線曝光技術對光刻膠進行圖案化處理。

　　隨后進行顯影和蝕刻，將光刻膠去除，完成微結構的制作。

　　光刻膠法制備的芯片具有較高的精度和重復性。

　　2.微加工技術

　　微加工技術是一種制造微小結構的技術，通常使用化學或物理方法在硅片或玻璃片上制作微結構。該技術利用光刻、蝕刻和拋光等手段將硅片或玻璃片加工成所需的微結構。微加工技術制備的微流控芯片具有高精度、高一致性和低成本等優點，被廣泛應用于商業應用。

　　3.注塑成型

　　注塑成型是一種塑料加工技術，通過高溫熔融塑料并注入模具中成型。在芯片制備中，注塑成型可用于制造高精度和高一致性的塑料微流控芯片。先將具有微結構的模具制作出來，然后將塑料熔融液注入模具中成型，脫模得到微流控芯片。注塑成型法制備的具有快速制造和低成本等優點。

　　4.軟光刻

　　軟光刻是一種非傳統光刻技術，使用軟材料代替傳統光刻膠。軟光刻具有簡單、低成本和靈活性高等優點，被廣泛應用于實驗室研究和原型制造。該技術使用PDMS材料制作微結構，通過將PDMS材料置于模具上并加熱固化，將PDMS材料從模具上剝離下來，得到具有微結構的PDMS芯片。

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